Préparation de masque photolithographique basé sur les cristaux liquides bentostériques structurés

WANG Junhui ,  

LIU Xuan ,  

DUAN Xia ,  

LI Boyuan ,  

YUAN Conglong ,  

ZHENG Zhigang ,  

摘要

Les micro- et nanostructures jouent un rôle important dans de nombreux domaines, notamment en optique, capteurs et affichage. Bien que diverses technologies existent pour la fabrication de ces micro- et nanostructures, la réalisation de ces structures de manière simple et économique reste un défi. Cet article propose une solution basée sur la conception de cristaux liquides bentostériques à orientation structurée, réalisant avec succès la préparation de masques personnalisés. Plus précisément, en utilisant la propriété d'absorption anisotrope de la lumière polarisée par les cristaux liquides bentostériques, et en contrôlant la distribution des orientations des molécules de cristaux liquides via la technique d'orientation optique, il est possible de moduler spatialement l'intensité du champ lumineux incident pour former un masque structuré. En intégrant cette méthode dans un système d'écriture laser directe, différentes micro- et nanostructures géométriques ont pu être créées avec succès sur la surface du résiste photo. Les structures préparées correspondent étroitement au masque conçu, démontrant une capacité de fabrication à l'échelle micrométrique (taille des caractéristiques de 5 μm). De plus, le réseau liquidien basé sur ces micro- et nanostructures diffracte de manière stable en conditions de courtes longueurs d'onde. Ces résultats confirment que le masque liquide développé peut contrôler précisément la distribution spatiale du champ lumineux et gérer avec précision l'intensité de la lumière incidente. Cette étude offre une nouvelle approche pour un traitement économique et pratique des microstructures, susceptible de promouvoir le développement de techniques de fabrication rapide et à grande échelle de structures micro- et nanométriques complexes.

关键词

cristaux liquides bentostériques;masque;orientation optique;micro- et nanostructures

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