Impact du matériau de photo-résist noir pour TFT-LCD sur la lecture des marques lors du processus d'exposition

LI Ji ,  

ZHANG Xia ,  

LIAO Chang ,  

HSIEH Chung-ching ,  

YIN Yong-ming ,  

MENG Hong ,  

摘要

L'écran à cristaux liquides à transistor à film mince (Thin Film Transistor Liquid Crystal Display, TFT-LCD) réduit le coût du panneau en remplaçant le processus de matrice noire (Black Matrix, BM) par la technologie du séparateur photo noir (Black Photo Spacer, BPS). Pour améliorer la précision d'alignement, on utilise la technologie BOA (BPS on Array) qui déplace le BPS du côté de la substrat d'array. Le processus BM initial était la première étape de fabrication, tandis que le nouveau processus BPS se situe à la dernière étape d'array. La formation par exposition du BPS nécessite un alignement précis avec les marques métalliques (Metal Mark) du pré-traitement de l'array. La faible transmittance du BPS rend difficile la capture des marques métalliques par la caméra CCD pour l'alignement. Pour résoudre ce problème technologique, le principe de capture des marques dans l'équipement d'exposition a été analysé. En ajustant la composition des pigments, des matériaux BPS de différentes transmittances ont été obtenus. La formation par exposition a été effectuée sur des matériaux avec différentes transmittances afin d'étudier les exigences minimales de transmittance pour le processus d'alignement, tout en assurant une opacité maximale. Les résultats expérimentaux montrent que la longueur d'onde de la source lumineuse de l'outil d'alignement de la machine NSK est située entre 780 et 1000 nm dans la région infrarouge. Lorsque la transmittance du matériau BPS est inférieure à 23 %, l'alignement échoue. En utilisant une composition de pigments organiques-inorganiques mixte au lieu de pigments organiques mixtes, une transmittance proche de 90 % dans la bande infrarouge est obtenue, répondant aux exigences d'alignement. Après durcissement, une densité optique de 1,2/μm est atteinte, répondant aux exigences d'opacité du produit BPS. Les indicateurs optiques du panneau BPS produit ainsi répondent aux spécifications du produit.

关键词

TFT-LCD;technologie BPS;processus d'exposition;alignement des marques;transmittance

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