Fabrication d'éléments optiques à cristaux liquides basée sur la technologie d'assemblage de projection SLM

YU Li-hong ,  

SHEN Dong ,  

ZHENG Zhi-gang ,  

摘要

Une technique d'orientation optique par assemblage de projection basée sur un modulateur spatial de lumière à cristaux liquides en silicium (LCOS SLM, ci-après dénommé SLM) est proposée. En combinant le SLM et une plateforme mobile bidimensionnelle, il est possible de fabriquer des éléments optiques à cristaux liquides avec une distribution de phase géométrique de n'importe quelle taille et forme. Sur cette base, plusieurs éléments optiques à cristaux liquides ont été fabriqués par une méthode d'exposition de balayage continu : réseau de polarisation unidimensionnel, réseau bidimensionnel, matrice de microlentilles et hologramme. Les résultats expérimentaux montrent qu'avec cette technologie, il est possible de fabriquer des éléments optiques à distribution de phase continue et d'agrandir le calibre des éléments optiques ; l'efficacité de diffraction d'un réseau de polarisation unidimensionnel de 25,4 mm × 25,4 mm atteint 98,32 %, avec une erreur régionale ne dépassant pas 1 % ; il est possible de fabriquer des éléments optiques à cristaux liquides périodiques bidimensionnels ou d'autres motifs complexes simplement en modifiant le motif d'exposition chargé sur le SLM. La technologie d'orientation optique par assemblage de projection basée sur le SLM présente des caractéristiques de haute résolution, haute efficacité, procédé simple et capacité de fabrication d'éléments optiques de toute taille, pouvant promouvoir davantage le développement et l'application pratique des éléments optiques à cristaux liquides.

关键词

éléments optiques à cristaux liquides;modulateur spatial de lumière;orientation optique;phase géométrique;assemblage

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