Cette étude porte sur l'effet de la couche de nitrure de silicium dans le substrat TFT sur le décalage de couleur de l'écran blanc en angle de vue latéral des produits finis TFT-LCD, comblant ainsi le manque de recherche sur la membrane TFT et le décalage de couleur de l'écran blanc latéral dans le TFT-LCD, fournissant une référence utile pour l'amélioration des défauts chromatiques optiques similaires. À travers de nombreux tests expérimentaux et simulations, les effets de l'épaisseur de la couche d'oxyde de silicium sur le décalage de couleur de l'écran blanc en angle de vue latéral ont été explorés. Les résultats montrent que la couche de nitrure de silicium est un facteur clé influant sur la quantité et la direction du décalage de couleur, où la couche isolante de grille (GI) et la première couche isolante de passivation (PVX1) ont un impact important, tandis que la deuxième couche isolante de passivation (PVX2) a un impact moindre. L'épaisseur du nitrure de silicium est non linéairement corrélée au degré de décalage de couleur de l'écran blanc en angle de vue latéral. À titre d'exemple, pour un produit HADS, la couche de nitrure de silicium comprend la couche isolante de grille (320 nm), la première couche isolante de passivation (100 nm) et la deuxième couche isolante de passivation (200 nm). Sur la base des résultats d'expériences à facteur unique et de simulations, en considérant les caractéristiques électriques et l'impact sur la capacité de production, un PVX1 de 140 nm a été adopté comme condition d'amélioration, ce qui est efficace pour améliorer la rougeur sur l'écran blanc en angle de vue latéral, c’est-à-dire qu'il n'y a pas de rougeur visible à l'observation macroscopique et que les données mesurées sont conformes aux spécifications du produit.

afficheur à cristaux liquides à transistor à couches minces; couche de nitrure de silicium; chromaticité optique; décalage de couleur en angle latéral; écran complètement blanc