Dieser Artikel beschäftigt sich mit dem Problem der Verblassung von Polarisationsfiltern in flexiblen organischen Leuchtdioden unter feucht-warmen Bedingungen. Es wurden die wichtigsten Einflussfaktoren des Herstellungsprozesses von Siliziumnitridfilmen mittels plasmaverstärkter chemischer Gasphasenabscheidung (PECVD) untersucht. Durch ein vollständiges Faktorexperiment wurde die Wirkungsweise von Hochfrequenzleistung und Elektrodenabstand auf die Filmeigenschaften und das Verblassungsverhalten der Polarisationsfilter systematisch analysiert. Die Ergebnisse zeigen, dass die Hochfrequenzleistung (P=0,006) und der Elektrodenabstand (P=0,023) signifikante Einflussfaktoren für das Verblassen der Polarisationsfilter sind. Der Verblassungsgrad korreliert negativ mit der Hochfrequenzleistung und positiv mit dem Elektrodenabstand. Das aufgestellte lineare Modell erklärt 89,88 % der Varianz. Es besteht kein signifikanter statistischer Zusammenhang zwischen der Filmspannung und dem Verblassen der Polarisationsfilter (P=0,169), was darauf hinweist, dass beide parallele Reaktionsvariablen der Prozessparameter sind. Der Gehalt an gebundenem Wasserstoff in Stickstoff-Wasserstoff- und Silizium-Wasserstoff-Bindungen im Siliziumnitridfilm korreliert stark positiv mit dem Verblassen der Polarisationsfilter (P=0,007, R²=79,1 %). Die Spitzenspannung, ein Schlüsselkriterium für die Dissoziationsfähigkeit des Plasmas, korreliert signifikant negativ mit dem Gehalt an gebundenem Wasserstoff (P=0,015). Eine Erhöhung der Hochfrequenzleistung und Verringerung des Elektrodenabstands kann die Spitzenspannung deutlich erhöhen, wodurch der Gehalt an gebundenem Wasserstoff im Siliziumnitridfilm effektiv reduziert wird. Dies fördert die Bildung einer dichteren und stabileren Filmstruktur, reduziert die Ammoniakfreisetzung durch oxidative Degradation des Films unter feucht-warmen Bedingungen und verringert dessen weitere Reaktion mit Ionen im Polarisationsfilter, was schließlich zur Hemmung des Verblassens des Polarisationsfilters führt und die Zuverlässigkeit flexibler organischer Leuchtdioden unter feucht-warmen Bedingungen erheblich verbessert.

Verblassung von Polarisationsfiltern; plasmaverstärkte chemische Gasphasenabscheidung; Siliziumnitrid; Hochfrequenzleistung; Elektrodenabstand; Gehalt an gebundenem Wasserstoff; Spitzenspannung