Herstellung von Flüssigkristall-Polarisationsgittern großer Apertur durch nahegestellte stufenweise holographische Interferenzstitching-Belichtung

WANG Chen ,  

FANG Qipeng ,  

JIANG Feiyu ,  

LIAO Chengkai ,  

SUN Xiuhui ,  

HU Chao ,  

YIN Shaoyun ,  

摘要

Flüssigkristall-Polarisationsgitter großer Apertur besitzen aufgrund ihrer hohen Effizienz und Trägheitsfreiheit breite potenzielle Anwendungen in Strahlrichtungs-Scannmodulen. Beschränkt durch den Aperturdurchmesser der optischen Komponenten im polarisationsholographischen Interferenzbelichtungsweg ist es schwierig, Flüssigkristall-Polarisationsgitter mit einer Apertur von mehr als 2 Zoll (1 Zoll = 2,54 cm) in einem einzelnen Belichtungsvorgang herzustellen. In diesem Artikel wird eine nahegestellte stufenweise holographische Interferenzstitching-Belichtungsmethode vorgeschlagen, die eine präzise Steuerung der Position des Einzelbelichtungsbereichs durch eine Maske ermöglicht, die nahe am Belichtungssubstrat platziert ist. In Kombination mit einer hochpräzisen Positionierbühne wurde eine schrittweise Stitching-Belichtung großer Flüssigkristall-Polarisationsgitter realisiert. Das hergestellte Gitterformat beträgt 150 mm, die Nahtlücke beträgt nur 26,4 μm, und die Beugungseffizienz erreicht 96,86 %. Dieser Artikel bietet einen neuen Ansatz für die effiziente Ablenkung von Strahlen großer Apertur.

关键词

Flüssigkristall-Polarisationsgitter; holographische Interferenzbelichtung; optische Orientierung; Flüssigkristallpolymer

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