Die Technologie für integrierte Mischanzeige von niederpolykristallinem Oxid bei niedriger Temperatur (Low Temperature Polycrystalline Oxide, LTPO) ist eine neue Technologie für integrierte Anzeigen, die niederpolysisches Silizium (LTPS) und metalloxidische Halbleiter (MOS) integriert, um eine Hochleistungs- und energieeffiziente Anzeigelösung zu bieten. Während des LTPO-Integrationsprozesses kann Wasserstoff von der niederpolykristallinen Siliziumschicht zur Metalloxidschicht diffundieren, was zu einer Drift der Schwellspannung des Bauteils und einer Verschlechterung der Stabilität führt und die Leistung des Anzeigeprodukts beeinträchtigt. In diesem Artikel wird ausführlich diskutiert, wie sich die Präsenz von Wasserstoff in LTPS- und MOS-Geräten unterscheidet und wie sich Wasserstoff auf MOS-Geräte auswirkt. Es werden die Wasserstoffsperrmethoden für MOS-Geräte zusammengefasst: Verwendung unterschiedlicher Zwischenschichten, Ionenimplantationsprozesse. Darüber hinaus fasst der Artikel die Wasserstoffsperrmethoden für LTPO-Geräte zusammen, um die Stabilität und Zuverlässigkeit von LTPO-Geräten zu verbessern. Schließlich wird ein Ausblick auf die Anwendungsmöglichkeiten der LTPO-Technologie durch Wasserstoffsperre im Bereich der Hochleistungsanzeigen gegeben.

LTPO;metal oxide;low temperature polysilicon;TFT;hydrogen diffusion