Design mehrlagiger Antireflexionsschichten basierend auf leitfähiger und Orientierungsschicht

DIAO Zhihui ,  

ZHAO Huiru ,  

PENG Zenghui ,  

LIU Yonggang ,  

MU Quanquan ,  

摘要

Die leitfähige Schicht und die Orientierungsschicht sind die am häufigsten vorkommenden und wichtigsten Filmschichtstrukturen in Flüssigkristallgeräten. Die beiden Schichten befinden sich zwischen dem Substrat und dem Flüssigkristall und führen aufgrund von Brechungsindex-Mismatch zu einer verminderten Transmissionsrate der Schicht, was die Lichtenergieausnutzung des Flüssigkristallgeräts verringert. Zur Lösung dieses Problems schlägt dieser Artikel eine Methode zur Gestaltung von mehrlagigen Antireflexionsschichten basierend auf leitfähiger und Orientierungsschicht vor, wobei diese Schichten als Teil des Schichtsystems betrachtet werden, um eine hohe Transmissionsrate zu erreichen. Zunächst wurde ein physikalisches Modell mehrlagiger Antireflexionsschichten basierend auf leitfähiger und Orientierungsschicht entwickelt; daraufhin wurde auf Basis dieses Modells theoretisch die entsprechende Schichtstruktur zur Erreichung hoher Transmissionsraten entworfen; schließlich wurde systematisch das Einflussverhalten des Flüssigkristalleinschaltprozesses auf die Transmissionsrate der Schichten untersucht. Die Ergebnisse zeigen: Die entworfene Antireflexionsschicht hält im Wellenlängenbereich von 500~800 nm eine Transmissionsrate von über 99% und im Bereich von 400~500 nm über 96%; das Ansteuern des Flüssigkristalls führt zu einer Abnahme der Transmissionsrate, auf Grundlage des gemischten Brechungsindexes des Flüssigkristalls kann der Abfall der Transmissionsrate auf unter 0,35% reduziert werden. Diese Untersuchung wird zur Realisierung von Flüssigkristallgeräten mit hoher Energieeffizienz und hoher Stabilität beitragen.

关键词

leitfähige Schicht;Orientierungsschicht;Antireflexionsschicht

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