Herstellung von Flüssigkristall-Optikelementen basierend auf der SLM-Projektionsstichtechnik

YU Li-hong ,  

SHEN Dong ,  

ZHENG Zhi-gang ,  

摘要

Es wird eine auf dem siliciumbasierten Flüssigkristall-Raumlichtmodulator (LCOS SLM, im Folgenden SLM genannt) basierende Projektionsstichlichtorientierungstechnik vorgestellt. Durch die Kombination von SLM und einer zweidimensionalen Bewegungseinheit können Flüssigkristall-Optikelemente mit beliebiger Größe und beliebiger geometrischer Phasenverteilung hergestellt werden. Basierend auf dieser Technologie wurden mittels kontinuierlicher Scan-Belichtung verschiedene Flüssigkristall-Optikelemente hergestellt: eindimensionale Polarisationsgitter, zweidimensionale Gitter, Mikrolinsenarrays und Hologramme. Experimentelle Ergebnisse zeigen, dass durch diese Technik die Herstellung von optischen Elementen mit kontinuierlicher Phasenverteilung und die Erweiterung des Aperturdurchmessers möglich ist; die Beugungseffizienz eines eindimensionalen Polarisationsgitters mit der Größe 25,4 mm × 25,4 mm erreicht 98,32 %, und die Fehler in einzelnen Bereichen überschreiten 1 % nicht; es ist möglich, zweidimensionale periodische oder andere komplexe Muster von Flüssigkristall-Optikelementen herzustellen, indem nur das auf das SLM geladene Belichtungsmuster geändert wird. Die auf der SLM-Projektionsstichtechnik basierende optische Orientierung zeichnet sich durch hohe Auflösung, hohe Effizienz, einfachen Prozess und die Möglichkeit der Herstellung optischer Elemente beliebiger Größe aus, was die Weiterentwicklung und praktische Anwendung von Flüssigkristall-Optikelementen weiter vorantreiben kann.

关键词

Flüssigkristall-Optikelemente;Raumlichtmodulator;optische Orientierung;geometrische Phase;Stich

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