تحليل وتحسين كفاءة الطاقة لشريحة السيليكون

XUE Bosen ,  

ZHA Zhengtao ,  

MU Quanquan ,  

WANG Qidong ,  

PENG Zenghui ,  

摘要

لحل مشكلة انخفاض كفاءة الطاقة لشريحة السيليكون ذات حجم البكسل الصغير وعدم دقة حساب نظرية الحيود السلمية، تركز هذه الورقة على إجراء حسابات دقيقة ودراسات تحسين لكفاءة الطاقة لشريحة السيليكون. تم استخدام نظرية الحيود السلمية وطريقة الفروقات المحدودة في المجال الزمني (FDTD) لحساب كفاءة الطاقة لشريحة السيليكون، وتم بناء نظام اختبار ليزر بطول موجي 532 نانومتر للتحقق من التجارب. تم اختيار مواد TiO2/SiO2 لتصميم طبقة عاكسة عالية من نوع λ/4 بعدة طبقات، ومن خلال المحاكاة باستخدام FDTD تم تحليل تأثير عدد دورات طبقة الطلاء وطول الموجة على تحسين كفاءة الطاقة. أظهرت نتائج الدراسة أنه بالنسبة لأحجام بيكسل الشائعة حالياً (دورة البكسل من 2 إلى 8 ميكرومتر) لشريحة السيليكون، فإن الخطأ المطلق بين كفاءة الطاقة المحسوبة بطريقة FDTD والنتائج التجريبية أقل من 1%؛ يمكن أن يحسن الطلاء متعدد الطبقات كفاءة الطاقة بشكل فعال، وعندما يصل عدد وحدات دورات طبقة العاكسة إلى 5، تصل كفاءة الطاقة لشريحة ذات أحجام بيكسل مختلفة ضمن مجال الطول الموجي 450-625 نانومتر إلى أكثر من 95%.

关键词

شريحة السيليكون;كفاءة الحيود;كفاءة الطاقة;طريقة الفروقات المحدودة في المجال الزمني;طلاءات عاكسة متعددة الطبقات

阅读全文

以上内容由讯飞翻译自动生成,翻译内容仅供参考。对于因使用本网站翻译内容产生的相关后果,本网站不承担任何商业和法律责任。

The above content is generated by Large Model Translation. The translated content is for reference only. We do not assume any commercial or legal responsibilty for any consequences arising from the use of our website