للتغلب على مشكلة انخفاض مرونة الأجهزة وزيادة مخاطر التخلل الجانبي الناتجة عن سماكة الطبقة العضوية في تقنيات تغليف الأغشية المركبة غير العضوية/العضوية في التطبيقات التجارية، تركز هذه الدراسة على متطلبات تقليل سمك طبقة التغليف بشكل عام، واستكشفت بشكل منهجي مسارات تحسين الأداء التعاوني لمقاومة الحاجز للطبقة العضوية والالتصاق بين الطبقات بعد تقليل السمك. تم استخدام استراتيجية مركبة نانوية حيث تم إدخال صفائح نانوية من اللابونايت (Laponite) الطبقي الاصطناعي وكذلك صفائح نانوية معدلة بسداسي عشرة الهكيسيل ثلاثي ميثيل الأمونيوم كلوريد (CTAC) كمقويات في مصفوفة بوليميثيل ميثاكريلات (PMMA)، إلى جانب طبقة رقيقة من SiNx لتشكيل فيلم تغليف مركب هيكلي رقيق من نوع "ساندويتش". أظهرت النتائج أن إدخال الصفائح النانوية يعزز بشكل كبير مقاومة الحاجز للبخار المائي بفعل تشكيل مسار متعرج. مقارنة بالنظام الأصلي للابونايت، يؤدي تعديل الصفائح النانوية بـ CTAC إلى تحسين شامل في أداء الفيلم المركب CTAC-Laponite-PMMA بسبب تحيد سطحها وامتزاجها الممتاز في مصفوفة PMMA، حيث انخفض متوسط خشونة السطح إلى 0.312 نانومتر، مما يضمن بشكل فعال التصاق الواجهة مع الطبقات غير العضوية العلوية والسفلية. كما انخفض معدل نفاذية البخار في فيلم التغليف المركب الهيكلي الكلي "ساندويتش" إلى 5.90×10⁻⁵ غ/ (م²·يوم). تقدم هذه الدراسة طريقاً جديداً لتحسين مقاومة الحاجز والالتصاق بين الواجهات في الطبقات العضوية الرقيقة من خلال تعديل الصفائح النانوية للابونايت، مما يوفر آفاقاً واعدة لتغليف مرن فائق الأداء والدقة.
关键词
تقنية تغليف الأغشية;الصفائح النانوية;معدل نفاذية البخار المائي;تعديل عضوي