تهدف هذه الدراسة إلى مشكلة بهتان مرشح الاستقطاب في مصابيح العضوية الباعثة للضوء المرنة تحت بيئة رطبة وساخنة، حيث تم دراسة العوامل المؤثرة الرئيسية في عملية ترسيب فيلم نيتريد السيليكون بواسطة ترسيب كيميائي بالبخار معزز بالبلازما (PECVD). من خلال تصميم تجربة كامل العوامل، تم تحليل آلية تأثير قوة التردد الراديوي والمسافة بين الأقطاب على خصائص الفيلم وسلوك بهتان مرشح الاستقطاب. أظهرت النتائج أن قوة التردد الراديوي (P=0.006) والمسافة بين الأقطاب (P=0.023) هما عاملان مؤثران هامين على بهتان مرشح الاستقطاب، وأن درجة البهتان مرتبطة سلبًا بقوة التردد الراديوي وإيجابًا بالمسافة بين الأقطاب، ويمكن للنموذج الخطي المطبق تفسير 89.88% من التباين. لم توجد علاقة إحصائية ذات دلالة بين إجهاد الفيلم وبهتان مرشح الاستقطاب (P=0.169)، مما يشير إلى أنهما متغيرات استجابة متوازية لمعاملات العملية. يحتوي ارتباط الروابط النيتروجينية والهيدروجينية والروابط السيليكونية والهيدروجينية في فيلم نيتريد السيليكون على علاقة إيجابية قوية مع بهتان مرشح الاستقطاب (P=0.007، R²=79.1%). تُعتبر القيمة العظمى للجهد مؤشرًا رئيسيًا لقدرة تفكك البلازما، وترتبط ارتباطًا سلبيًا معنويًا مع محتوى الهيدروجين المرتبط (P=0.015). ارتفاع قوة التردد الراديوي وتقليل المسافة بين الأقطاب يمكن أن يزيد بشكل ملحوظ من قيمة الجهد العظمى، مما يقلل بفعالية محتوى الهيدروجين المرتبط في فيلم نيتريد السيليكون، ويشجع على تكوين بنية فيلم أكثر كثافة واستقرارًا، مما يقلل من إطلاق الأمونيا الناتجة عن أكسدة وتدهور الفيلم في بيئة رطبة وساخنة، ويقلل من تفاعلها مع أيونات اليود في مرشح الاستقطاب، مما يؤدي في النهاية إلى تثبيط بهتان مرشح الاستقطاب وزيادة موثوقية مصابيح العضوية الباعثة للضوء المرنة تحت بيئة رطبة وساخنة.

بهتان مرشح الاستقطاب; ترسيب كيميائي بالبخار معزز بالبلازما; نيتريد السيليكون; قوة التردد الراديوي; المسافة بين الأقطاب; محتوى الهيدروجين المرتبط; القيمة العظمى للجهد