تقدم الأبحاث في تكنولوجيا عرض محرك أكسيد السيليكون متعدد البلورات منخفض الحرارة وسلوك انتشار الهيدروجين
摘要
تقنية عرض التكامل المختلط لأشباه الموصلات منخفضة الحرارة متعددة البلورات المؤكسدية (Low Temperature Polycrystalline Oxide، LTPO) هي تقنية عرض متكاملة جديدة تجمع بين السيليكون متعدد البلورات منخفض الحرارة (LTPS) وأشباه الموصلات المؤكسدية المعدنية (MOS)، تهدف إلى تحقيق حلول عرض عالية الأداء ومنخفضة الطاقة. خلال عملية تكامل LTPO، قد ينتشر الهيدروجين من طبقة السيليكون متعدد البلورات منخفض الحرارة إلى طبقة المؤكسد المعدني، مما يؤدي إلى انحراف جهد العتبة للمكونات وتدهور الاستقرار، ويؤثر على أداء منتجات العرض. تناقش هذه الورقة بشكل مفصل اختلاف وجود الهيدروجين في أجهزة LTPS وMOS وتأثير الهيدروجين على أجهزة MOS، وتلخص طريقتين للحماية من الهيدروجين في أجهزة MOS: استخدام طبقات عازلة مختلفة وعمليات إشباع أيوني. بالإضافة إلى ذلك، تنظم هذه الورقة طرق الحماية من الهيدروجين لأجهزة LTPO من أجل تحسين الاستقرار والموثوقية. أخيراً، تستشرف التطبيق الأوسع لتقنية LTPO عبر الحماية من الهيدروجين في مجال العرض عالي الأداء.
关键词
أكسيد السيليكون متعدد البلورات منخفض الحرارة;المؤكسد المعدني;السيليكون متعدد البلورات منخفض الحرارة;ترانزستور الأغشية الرقيقة;انتشار الهيدروجين
以上内容由讯飞翻译自动生成，翻译内容仅供参考。对于因使用本网站翻译内容产生的相关后果，本网站不承担任何商业和法律责任。
The above content is generated by Large Model Translation. The translated content is for reference only. We do not assume any commercial or legal responsibilty for any consequences arising from the use of our website