Review of low-temperature polycrystalline silicon oxide display driving technology and hydrogen diffusion behavior

ZHANG Xi ,  

LIU Bin ,  

ZHANG Shuo ,  

WEN Congyang ,  

YAO Qi ,  

GUO Jian ,  

NING Ce ,  

YUAN Guangcai ,  

WANG Feng ,  

YU Zhinong ,  

摘要

تقنية العرض المتكاملة المختلطة لشبه الموصلات الأكسيدية متعددة البلورات عند درجات الحرارة المنخفضة (Low Temperature Polycrystalline Oxide، LTPO) هي تقنية عرض متكاملة جديدة تضمن تكامل السيليكون المتعدد المنخفض الحرارة (LTPS) وشبه الموصلات الأكسيدية المعدنية (MOS)، بهدف تحقيق حل عرض عالي الأداء ومنخفض الطاقة. خلال عملية تكامل LTPO، قد ينتشر الهيدروجين من طبقة السيليكون المتعددة المنخفضة الحرارة إلى طبقة الموصل المعدني الأكسيدية، مما يؤدي إلى انجراف جهد عتبة الجهاز وتدهور الاستقرارية، مما يؤثر على أداء منتج العرض. في هذا المقال، يتم مناقشة بالتفصيل الفروق في وجود الهيدروجين في أجهزة LTPS وMOS وتأثير الهيدروجين على أجهزة MOS. وتستنتج أساليب حجب الهيدروجين في أجهزة MOS: باستخدام طبقات متوسطة مختلفة، وعمليات الشائبات بالأيونات. علاوة على ذلك، يقوم المقال بتلخيص أساليب حجب الهيدروجين لأجهزة LTPO، لتحسين استقرارية وموثوقية أجهزة LTPO. وأخيرًا، يتم التطلع لتطبيق تقنية LTPO من خلال حجب الهيدروجين في مجال العروض عالية الأداء بشكل أكبر.

关键词

LTPO;metal oxide;low temperature polysilicon;TFT;hydrogen diffusion

阅读全文