摘要
لتحسين أداء الترانزستور الرقيق ذو الحقل، اعتمد هذا البحث تكنولوجيا ترسيب المغناطيسية المستحثة بالراديو تردد، واستخدم مادة أكسيد الزنك القصديري (ZTO) كطبقة قناة، حيث تم تحضير ترانزستورات رقيقة عالية الأداء من ZTO على ركيزة SiO2/p-Si. تم دراسة تأثير قدرة الترسيب على السطح والبنية البصرية لأفلام ZTO باستخدام AFM، XRD، وUV-Vis. تم اختبار الخصائص الكهربائية لترانزستورات ZTO الرقيقة باستخدام جهاز معلمات أشباه الموصلات، واستخدم تحليل XPS لدراسة تأثير قدرة الترسيب على التركيب العنصري والحالة الكيميائية في أفلام ZTO، واستكشاف آلية عمل الترانزستورات الرقيقة عالية الأداء. أظهرت النتائج التجريبية أن جميع عينات أفلام ZTO ذات بنية غير متبلورة، سطحها كثيف، وشفافيتها الضوئية أكثر من 90%. زيادة قدرة الترسيب بشكل معتدل يمكن أن تحسن الخصائص الكهربائية لترانزستورات ZTO الرقيقة. تمتع الترانزستور الرقيق المحضر عند قدرة ترسيب 90 W بأداء متكامل جيد، حيث بلغ معدل الهجرة المشبعة 15.61 سم2/(فولت·ثانية)، وذبذبة العتبة الفرعية 0.30 فولت/عقدة، وجهد العتبة -5.06 فولت، ونسبة تشغيل التيار 8.92×109.
关键词
ترانزستور رقيق; قدرة الترسيب; تحليل XPS; فيلم ZTO
以上内容由讯飞翻译自动生成，翻译内容仅供参考。对于因使用本网站翻译内容产生的相关后果，本网站不承担任何商业和法律责任。
The above content is generated by Large Model Translation. The translated content is for reference only. We do not assume any commercial or legal responsibilty for any consequences arising from the use of our website