لتحقيق قياس ثلاثي الأبعاد عالي الدقة للأجسام الصغيرة، قامت هذه الورقة ببناء نظام قياس شكل ثلاثي الأبعاد قائم على إضاءة الضوء الهيكلي، ودُرست خوارزمية ترميز الطور المستخدمة في النظام وخوارزمية معايرة الكاميرا التلزنخية وخوارزمية معايرة العارض. أولاً، من خلال خوارزمية استخراج الحواف تم الحصول على إحداثيات نقاط الميزات لعلامة الهدف ثنائية الأبعاد، واُستخدمت خوارزمية معايرة Zhang المحسنة لإكمال معايرة الكاميرا التلزنخية، ومن خلال الضوء الهيكلي المشفر بالطور تم الحصول على علاقة تطابق بين بكسلات الكاميرا وبكسلات العارض. ثم، باستخدام علاقة التطابق تمكّن العارض من التقاط معلومات موقع نقاط الميزات، وبالتالي إتمام معايرته. أخيراً، استُخدم نموذج الرؤية المجسمة لإعادة بناء الجسم المقاس ثلاثي الأبعاد. أظهرت النتائج التجريبية أن مجال الرؤية للنظام المعاير يزيد عن 2000 مم²، ودقة القياس عبر المجال الكامل حوالي 32 ميكرومتر، ودقة القياس في مركز مجال الرؤية تبلغ 10 ميكرومتر. يتمتع النظام باستقرار وتكرارية جيدة، ويمكنه تلبية متطلبات معظم تطبيقات الفحص الصناعي، مما يظهر آفاقاً واسعة للتطبيقات.

الضوء الهيكلي;القياس ثلاثي الأبعاد;عدسة تلزنخية;دقة عالية