تأثير مادة فوتوريسست السوداء لتقنية TFT-LCD على قراءة العلامات أثناء عملية التعريض
摘要
شاشة الكريستال السائل ذات الترانزستور ذو الأغشية الرقيقة (Thin Film Transistor Liquid Crystal Display، TFT-LCD) توفر تكلفة اللوحة من خلال استبدال عملية مصفوفة الأسود (Black Matrix، BM) بتقنية عمود الفيلم الأسود (Black Photo Spacer، BPS)، مع الحفاظ على دقة المحاذاة بواسطة تقنية BOA (BPS on Array) التي تنقل BPS إلى جانب ركيزة المصفوفة. كانت عملية BM الأولى، بينما تقع عملية BPS الجديدة في أقصى عملية المصفوفة الأخيرة. يتطلب تشكيل BPS تعريضًا دقيقًا باستخدام علامات معدنية (Metal Mark) من عمليات المصفوفة الأمامية. إن انخفاض نفاذية BPS يجعل من الصعب على كاميرات CCD التقاط العلامات المعدنية لموازنة الطبقات الدقيقة. لحل هذه المشكلة التقنية، تم تحليل مبدأ التقاط العلامات لأجهزة التعريض، وتم تعديل تركيبة الأصباغ للحصول على مواد BPS بنفاذيات مختلفة. تم إجراء دراسات تشكيل التعريض للمواد بمرور مختلفة لدراسة الحد الأدنى لمتطلبات النفاذية عند المزامنة وأقصى عتمة ممكنة. أظهرت النتائج أن طول موجة مصدر ضوء محاذاة آلة التعريض NSK تقع بين 780~1000 نانومتر في نطاق الأشعة تحت الحمراء، وعندما تكون نفاذية مادة BPS أقل من 23% يفشل المحاذاة. باستخدام تركيبة صبغات عضوية-غير عضوية بدلاً من الصبغات العضوية المختلطة، يمكن تحقيق نفاذية تقارب 90% في النطاق تحت الأحمر لتلبية متطلبات المحاذاة، ويمكن الحصول على كثافة بصرية 1.2/μm بعد التصلب، مما يلبي متطلبات عتمة منتج BPS. تلبي مواصفات المؤشرات البصرية للوحة BPS المصنوعة بهذه الطريقة مواصفات المنتج.
关键词
TFT-LCD;تقنية BPS;عمليات التعريض;محاذاة العلامات;نفاذية
以上内容由讯飞翻译自动生成，翻译内容仅供参考。对于因使用本网站翻译内容产生的相关后果，本网站不承担任何商业和法律责任。
The above content is generated by Large Model Translation. The translated content is for reference only. We do not assume any commercial or legal responsibilty for any consequences arising from the use of our website