摘要
لحل مشكلة عدم قدرة المجهر الليزري التفاضلي التركيز (LDCM) التقليدي على قياس الزاوية المائلة بدقة عالية أثناء القياس عن بعد، تم اقتراح مستشعر لقياس زاوية الميل يعتمد على التركيز التفاضلي. عند قياس السطح المائل، يستخدم المستشعر أولاً إشارة الاستجابة التفاضلية التي يتم الحصول عليها من المسح المحوري لتحديد موقع النقطة المحورية بدقة، ثم يحلل توزيع شدة المجال في مستوى فتحة العين بالمجهر ويستخرج موقع ذروة صورة البقعة الضوئية، مما يحقق قياسًا دقيقًا لزاوية الميل. أولاً، تم بناء نموذج توزيع المجال الضوئي بعد انعكاس الحزمة المركزة على السطح المختبر المائل، وتم تحليل توزيع شدة المجال عند فتحة العين للمجهر عند زوايا ميل مختلفة. ثم، بناءً على تحليل خصائص البقعة المائلة، اقترح استخدام خوارزمية Meanshift المحسنة لاستخراج موقع ذروة البقعة. وأخيرًا، تم التحقق تجريبيًا من فعالية المستشعر في قياس زاوية الميل. أظهرت النتائج التجريبية أن متوسط خطأ القياس للدرجة الميل (0~8°) هو 0.011°، ومتوسط خطأ قياس اتجاه الميل (0~360°) هو 0.128°، مما يلبي متطلبات قياس زاوية الميل للسطح المختبر في عمليات الكشف ثلاثية الأبعاد باستخدام مسبار بصري تفاضلي غير تلامسي. يوفر هذا المستشعر طريقة جديدة لقياس ملامح الأسطح الحرة بدقة عالية.
关键词
مسبار بصري غير تلامسي; تركيز تفاضلي; كشف ثلاثي الأبعاد; قياس الميل; استخراج الذروة
以上内容由讯飞翻译自动生成，翻译内容仅供参考。对于因使用本网站翻译内容产生的相关后果，本网站不承担任何商业和法律责任。
The above content is generated by Large Model Translation. The translated content is for reference only. We do not assume any commercial or legal responsibilty for any consequences arising from the use of our website