تحضير رقاقة Micro-LED قائمة على نيتريد الغاليوم بدقة عالية ونظام قيادة نشط

HUANG Ming-shui ,  

NIE Jun-yang ,  

LIU Ming-yang ,  

LI Yang ,  

PAN Kui ,  

DENG Li-ying ,  

YANG Tian-xi ,  

HUANG Zhong-hang ,  

SUN Jie ,  

YAN Qun ,  

GUO Tai-liang ,  

摘要

صمم وطور هذا المقال رقاقة Micro-LED قائمة على نيتريد الغاليوم بدقة 1920×1080. تم استخدام طريقة الحفر بـ ICP (البلازما المتصلة بالحث) مرة واحدة لتشكيل طبقة توسيع التيار وحفر المنصة، مما حقق محاذاة ذاتية لطبقة توسيع التيار والمنصة. في نفس الوقت، تم استخدام HMDS (هيكساميثيلديسيلوكسان) لتحسين التصاق طبقة الفوتوريسست أثناء التصنيع، مما عزز بشكل جذري تناسق وسلامة حفر المنصة الصغيرة الحجم. علاوة على ذلك، أدى رفع القطب السالب N إلى حل مشكلة عدم تساوي ارتفاع الأقطاب الموجبة P والأقطاب السالبة N في الرقاقة التقليدية، مما يدعم الربط بين رقاقة العرض ورقاقة القيادة. يبلغ حجم هذه الرقاقة 17.78 مم (0.7 إنش)، وحجم وحدة الإضاءة 6 ميكرومتر، ودورة البكسل 8 ميكرومتر، وكثافة البكسل تصل إلى 3129 بكسل لكل إنش. تشير بيانات اختبار I-V إلى أن جهد تشغيل Micro-LED المحضر هو فقط 3.5 فولت.

关键词

Micro-LED;دقة عالية;رقاقة مقلوبة;حفر

阅读全文

以上内容由讯飞翻译自动生成，翻译内容仅供参考。对于因使用本网站翻译内容产生的相关后果，本网站不承担任何商业和法律责任。

The above content is generated by Large Model Translation. The translated content is for reference only. We do not assume any commercial or legal responsibilty for any consequences arising from the use of our website