摘要
تقدم هذه المقالة تحضير جهاز الترانزستور الرقيق على ركيزة بولي فينيل كحول (PVA)، وتحليل الخصائص الكهربائية، وعرض خصائص ذوبان الجهاز. يستخدم الجهاز أكسيد الهافنيوم (HfO2) كطبقة عازلة ذات ثوابت عازلة عالية، وأكسيد الزنك المضاف بالألمنيوم (AZO) كطبقة نشطة، والألمنيوم كالبوابة والمصدر والمصرف. تم تصنيع ترانزستورات ذات طبقة عازلة ذات ثابت عازل عالي (عالي k ) على ركيزة PVA بنجاح بواسطة طريقة تنقية فيزيائية ترسيب تحت التفريغ المغناطيسي منخفضة الحرارة (PVD)، وتم تحسين هيكل الطبقة العازلة للجهاز: تم استخدام طبقة مكدسة من أكسيد الهافنيوم (HfO2) وأكسيد الألمنيوم (Al2O3) كطبقة عازلة. تُظهر النتائج أن أجهزة الترانزستور ذات الطبقة العازلة المكدسة لها أداء أفضل، حيث تشمل تيار تسرب أقل، نسبة تبديل أعلى، وانحدار تحت العتبة أقل، مقارنة بالطبقة العازلة ذات طبقة أكسيد الهافنيوم فقط، مما يجعلها أكثر ملائمة كطبقة عازلة للترانزستور الرقيق على ركيزة بولي فينيل كحول. نسبة تشغيل/إيقاف الجهاز ذات الطبقة العازلة المكدسة من نوع "ساندويتش" تصل إلى 2.5×106، الجهد العتبي 10.6 فولت، الانحدار تحت العتبة 0.53 فولت·عقدة-1، وحركة حامل الشحنة 3.01 سم2·فولت-1·ثانية-1.
关键词
ترانزستور رقيق;إلكترونيات عابرة;بولي فينيل كحول (PVA);قابل للذوبان;طبقة عازلة مكدسة
以上内容由讯飞翻译自动生成，翻译内容仅供参考。对于因使用本网站翻译内容产生的相关后果，本网站不承担任何商业和法律责任。
The above content is generated by Large Model Translation. The translated content is for reference only. We do not assume any commercial or legal responsibilty for any consequences arising from the use of our website